NRA（Nuclear Reaction Analysis，核反应分析）是一种材料分析技术，主要用于研究材料表面和界面的组成、结构、厚度等方面的信息。下面是NRA的测量方法及步骤：

样品制备：首先需要准备样品，通常采用金属或半导体材料。样品需要经过清洗、抛光等处理，以保证表面光滑、纯净。

样品标记：将样品标记为待测样品，通常采用刻蚀、蚀刻或离子注入等方法，使得待测样品表面与周围区域具有一定的区别。

设备调试：对NRA设备进行调试，主要包括离子源设置、碰撞室增压、离子探测器调节等。

离子轰击：利用离子源发射出高能离子，在样品表面轰击产生核反应。离子能量一般在100keV到MeV级别。

核反应分析：在样品表面产生的核反应会产生新的核粒子，这些新的核粒子具有特定的能量，通过测量这些核粒子的能量，可以确定样品的成分、厚度等信息。

数据分析：测量得到的数据需要进行分析，通常采用计算机软件对数据进行处理和分析，得出所需的信息。

需要注意的是，NRA技术需要高能离子，在实验室条件下操作时需要严格控制安全，避免对人员和设备造成损伤。同时，样品表面也需要保证光滑和纯净，否则会影响实验结果。