在检具上建立坐标系的首要步骤是确定一个基准点，该基准点通常被视为参考点。接下来，需要确定其他的至少两个位置点，并通过这些点建立一个平面。

然后，需要通过放置测量仪器并根据其读数来确定其他重要的位置点，从而建立三维坐标系。整个过程需要仔细、精确地测量，并使用适当的数学算法处理数据。

一旦建立了检具的坐标系，可以使用该坐标系来测量物体的位置和尺寸，以确保产品符合设计要求。