偏心轮滑阀式真空泵,如H-150滑阀真空泵,是一种双级真空泵,采用滑阀结构。其工作原理如下:
吸入气体:在泵腔内,滑阀在偏心轮的作用下做往返运动,使进气口周期性地开启和关闭。当进气口开启时,气体被吸入泵腔内。
压缩气体:滑阀在泵腔内做往返运动,将吸入的气体进行压缩。同时,气体压力升高。
排出气体:当气体压力高于排气口的压力时,排气口打开,气体被排出泵外。
维持真空:在泵的连续运转过程中,不断吸入气体、压缩气体和排出气体,使泵内和管道内形成一定的真空度。
此外,滑阀真空泵的工作原理还可以表示为:转动轴的轴心与泵腔中心重合。在滑环上固定的长方形滑杆,能在装于泵体中的滑动导轨中上下滑动和左右摆动。泵腔被滑环和滑杆分隔成A、B两个工作室。偏心轮逆时针方向旋转时,B室容积逐渐减小,吸入的气体逐渐被压缩,压力逐渐增高。同时,A室容积则逐渐扩大,其中的气体压力不断降低,被抽气体便从滑杆的腔孔源源不断地从吸气口吸入A室。当B室气体压力上升到高于大气压力时,便推开排气阀排入大气;而A室容积则达到最大值,这时吸气终了,从而完成一个工作循环。偏心轮连续不断地旋转,气体便不断地被吸入、压缩和排出而达到连续抽气的目的。
在泵腔内各相对运动件表面间有油膜密封,所以这种真空泵是一种油封式机械真空泵。滑阀真空泵可单独作用或作为真空机组的前级泵。如安装气镇阀,可抽含有少量可凝性蒸汽的气体。